经营方针
- 持续开发集成电路90奈米以下技术所需之光罩
为了配合集成电路公司十二吋晶圆生产90奈米以下之产品,本公司除发展更精进之技术外,本年度亦将适时扩充设备,以配合集成电路技术发展及量产所需。本年度将积极发展ArF光源的相位变换光罩及提供光学外围修衬技术,与下游业者合作开发深次微米制程用光罩,以提升制造技术。
- 大尺寸光罩及特殊光罩投资及开发
在液晶显示器市场上,随着新世代显示屏发展到第十代、十点五代,液晶玻璃越来越大,因此也很难用一片光罩来完成一层黄光制程,而是必须把图案分割成五到六片光罩,利用缝接(stitch)方式完成该层的黄光图形,这也提升了液晶显示屏光罩市场的需求及技术要求。此外,由于封装技术的进步,在晶圆上进行Gold Bump、RDL等制程加工,也都需要光罩来做图案移转。本公司计划深入大尺寸光罩及特殊光罩的市场,加强设备投资及技术开发,以因应此市场之光罩需求。