- 工研院电子所光罩部门成立 1975
- 自工研院独立,本公司正式成立 1988
- 一厂完工 1990
- 公司上市 1995
- 建立OPC及PSM光罩技术能力 1997
- 二厂完工 1999
- 通过德国RWTUV ISO9002认证 2000
- 合并新台科技股份有限公司,成立三厂 2000
- 通过德国RWTUV ISO 9001:2000认证 2003
- 通过德国RWTUV QS9000:1998认证 2004
- 通过德国RWTUV ISO 9001:2008认证 2015
- 通过德国RWTUV ISO 14001:2004认证 2016
- 合并美禄科技股份有限公司 2017
- 通过德国RWTUV ISO9001:2015认证 2018
- 通过德国RWTUV ISO14001:2015认证 2018