Manufacturing Rule Check (MRC) For High End Reticle Production
MRC与晶圆代工厂中所使用DRC(设计规则检查)类似。于制作光罩前,透过CAD 软件针对细微区域侦测异常设计,并进行修正避免异常错误。TMC始终透过最佳机台、制程与检验方案制作光罩,以确保质量、客户交期安排与最低成本
光罩制作前,对于客户所设计的data 透过Job Deck View 与 MRC ( Mask Design Rule Check ) 进行数据确保是必要的。为此TMC 提供远程检视图形与MRC 服务,以利客户更加便利与效率的确保设计图形的正确性
MRC与晶圆代工厂中所使用DRC(设计规则检查)类似。于制作光罩前,透过CAD 软件针对细微区域侦测异常设计,并进行修正避免异常错误。TMC始终透过最佳机台、制程与检验方案制作光罩,以确保质量、客户交期安排与最低成本