Half tone phase shift
在图样线的交界处可以透过交界处两边有相位差180度，使的曝光在晶圆上所产生的绕射是破坏性干涉，因此，可以提高图样边缘的分辨率以及对比度。 相位偏移光罩产品主要应用在<0.18微米制程的CONTACT与FINE LINE光罩。 台湾光罩提供Half tone PSM
在图样线的交界处可以透过交界处两边有相位差180度，使的曝光在晶圆上所产生的绕射是破坏性干涉，因此，可以提高图样边缘的分辨率以及对比度。 相位偏移光罩产品主要应用在<0.18微米制程的CONTACT与FINE LINE光罩。 台湾光罩提供Half tone PSM