- 工研院電子所光罩部門成立 1975
- 自工研院獨立,本公司正式成立 1988
- 一廠完工 1990
- 公司上市 1995
- 建立OPC及PSM光罩技術能力 1997
- 二廠完工 1999
- 通過德國RWTUV ISO9002認證 2000
- 合併新台科技股份有限公司,成立三廠 2000
- 通過德國RWTUV ISO 9001:2000認證 2003
- 通過德國RWTUV QS9000:1998認證 2004
- 通過德國RWTUV ISO 9001:2008認證 2015
- 通過德國RWTUV ISO 14001:2004認證 2016
- 合併美祿科技股份有限公司 2017
- 通過德國RWTUV ISO9001:2015認證 2018
- 通過德國RWTUV ISO14001:2015認證 2018